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Txo txuas ntxiv nce lub zog hloov dua siab tshiab ntawm n-hom silicon hnub ci hlwb nrog boron-doped emitter, tus neeg saib xyuas cov khoom xa rov qab uas nyob hauv thaj av emitter tau muaj tsawg. Rau qhov no, tsis yog tsuas yog lub tuam txhab them nqi sib txuas ua ke hauv qhov chaw thaij duab (tsis yog xim hlau) yog qhov cuam tshuam tab sis kuj yog ib qho ntawm cov neeg nyob ntawm cov hlau. Qhov yuav tsum tau ua rau qhov doping profile rau ua tiav cov cab kuj muaj tsawg tus sib txawv yog txawv heev hauv ob cheeb tsam no.
Ib qho kev daws teeb meem los ua qhov sib txawv doped emitter cov cheeb tsam yog kev siv qhov kev xaiv ntawm emitter mus kom ze. Yog li ntawd, ntau dua qhov doping hauv qab cov neeg nyob hauv cov hlau tau paub los ntawm kev tsav tsheb hauv cov roj av ntxiv ntawm cov roj (boronilicate iav) (BSG) txheej - uas cov ntaub ntawv thaum lub sijhawm boron tribromide (BBr3) diffusion - ntawm laser diffusion. Rau kev ua tiav zoo ntawm laser diffusion, BSG yuav tsum muaj cov tshuaj txaus txaus tom qab BBr3 diffusion.
Lub tswv yim tshiab ntawm kev ua raws theem thib ob qhov kawg ntawm qhov kawg ntawm BBr3 diffusion tau qhia txog tsis ntev los no los ntawm cov kws tshawb nrhiav, qhov twg qhov kev tso nyiaj thib ob tau piav qhia txog ib qho kev nquag tso zis los ntawm BBr3 bubbler. Txoj hauv kev no muab ob zaug ntau dua boron koob tshuaj hauv BSG txheej piv rau BBr3 diffusion tsis muaj qhov kev tso ob zaug uas yooj yim rau kev tsim cov laser-doped xaiv emitters. Thaum lub sij hawm BBr3 diffusion cov tshooj txheej muaj BSG thiab ib qho nruab nrab silicon dioxide (SiO2) yog zus rau ntawm sab silicon.
Qhov thib ob qhov kev tso nyiaj txo qis ua cov txheej ntawm SiO2 txheej thiab nce BSG txheej thickness. Tom qab laser doping, lub txim cab kuj teeb meem yog siab dua rau cov txheej txheem BBr3 diffusion nrog kev tso nyiaj thib ob uas ua rau muaj zog hauv zos doping. Kauj no yeej muaj kev cia siab rau txo kev nqa khoom sib txuas ntxiv nyob rau hauv n-hom silicon hnub ci hlwb uas ua rau kom muaj kev txhawb zog hauv lub zog hloov dua siab tshiab ntawm cov khoom siv ntawd.
